uv光氧設備利用細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸，再通過臭氧進行氧化反應，達到凈化殺滅細菌的目的。采用脈沖電暈吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，使有機物轉變為無機物。

光氧催化利用高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物。利用光氧催化廢氣處理工作原理，將工業生產產生的廢氣處理，達到環保的要求，很多工廠會選擇這種技術來處理廠子產生的廢氣。